dc.contributor.author |
Хомченко, А. В. |
|
dc.contributor.author |
Примак, И. У. |
|
dc.contributor.author |
Сотский, А. Б. |
|
dc.contributor.author |
Корнеева, И. А. |
|
dc.contributor.author |
Крекотень, Н. А. |
|
dc.contributor.author |
Петлицкий, А. Н. |
|
dc.date.accessioned |
2019-02-04T11:25:33Z |
|
dc.date.available |
2019-02-04T11:25:33Z |
|
dc.date.issued |
2016 |
|
dc.identifier.citation |
Рефлектометрические методы исследования наноразмерных металлических слоев на подложке / А. В. Хомченко [и др.] // Известия Российской академии наук, Серия физическая. – 2016. – Т. 80. – № 4. – С. 477-480. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8558 |
|
dc.description.abstract |
Предложен новый бесконтактный метод контроля параметров наноразмерных металлических покрытий, основанный на обработке измеренной угловой зависимости коэффициента отражения поляризованного лазерного пучка от поверхности тонкопленочной структуры. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
ФГБУ "Российская академия наук" |
ru_RU |
dc.subject |
наноразмерные металлические покрытия |
ru_RU |
dc.subject |
тонкопленочные структуры |
ru_RU |
dc.subject |
ПЭВ спектроскопия |
ru_RU |
dc.subject |
оптический контроль |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.title |
Рефлектометрические методы исследования наноразмерных металлических слоев на подложке |
ru_RU |
dc.type |
Article |
ru_RU |
dc.identifier.udc |
535.32:621.378 |
|