JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.
| dc.contributor.author | Хомченко, А. В. | |
| dc.contributor.author | Примак, И. У. | |
| dc.contributor.author | Сотский, А. Б. | |
| dc.contributor.author | Корнеева, И. А. | |
| dc.contributor.author | Крекотень, Н. А. | |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2019-02-04T11:25:33Z | |
| dc.date.available | 2019-02-04T11:25:33Z | |
| dc.date.issued | 2016 | |
| dc.identifier.citation | Рефлектометрические методы исследования наноразмерных металлических слоев на подложке / А. В. Хомченко [и др.] // Известия Российской академии наук, Серия физическая. – 2016. – Т. 80. – № 4. – С. 477-480. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8558 | |
| dc.description.abstract | Предложен новый бесконтактный метод контроля параметров наноразмерных металлических покрытий, основанный на обработке измеренной угловой зависимости коэффициента отражения поляризованного лазерного пучка от поверхности тонкопленочной структуры. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ФГБУ "Российская академия наук" | ru_RU |
| dc.subject | наноразмерные металлические покрытия | ru_RU |
| dc.subject | тонкопленочные структуры | ru_RU |
| dc.subject | ПЭВ спектроскопия | ru_RU |
| dc.subject | оптический контроль | ru_RU |
| dc.subject | Публикации кафедры "Физика" | |
| dc.title | Рефлектометрические методы исследования наноразмерных металлических слоев на подложке | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 535.32:621.378 |
