dc.contributor.author |
Хомченко, А. В. |
|
dc.date.accessioned |
2019-02-04T11:31:34Z |
|
dc.date.available |
2019-02-04T11:31:34Z |
|
dc.date.issued |
2016 |
|
dc.identifier.citation |
Хомченко, А. В. Измерение спектров поглощения тонких пленок волноводным методом / А. В. Хомченко // Известия Российской академии наук, Серия физическая. – 2016. – Т. 80. – № 4. – С. 471-476. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8559 |
|
dc.description.abstract |
Рассмотрен волноводный метод измерения спектров поглощения тонких пленок в области их прозрачности. Погрешность измерения поглощения пленки толщиной ~0.1 мкм не превышала 5% при значениях коэффициента поглощения менее 50 см–1. Обсуждаются возможности и ограничения метода. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
ФГБУ "Российская академия наук" |
ru_RU |
dc.subject |
спектры поглощения тонких пленок |
ru_RU |
dc.subject |
тонкопленочные структуры |
ru_RU |
dc.subject |
тонкопленочный волновод |
ru_RU |
dc.subject |
волноводная спектроскопия |
ru_RU |
dc.subject |
эллипсометрия |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.title |
Измерение спектров поглощения тонких пленок волноводным методом |
ru_RU |
dc.type |
Article |
ru_RU |
dc.identifier.udc |
535.32:621.378 |
|