dc.contributor.author |
Сотский, А. Б. |
|
dc.contributor.author |
Штейнгарт, Л. М. |
|
dc.contributor.author |
Парашков, С. О. |
|
dc.contributor.author |
Сотская, Л. И. |
|
dc.date.accessioned |
2019-02-04T12:05:46Z |
|
dc.date.available |
2019-02-04T12:05:46Z |
|
dc.date.issued |
2016 |
|
dc.identifier.citation |
О выборе диапазонов измерения отражательной способности призмы связи при волноводной спектроскопии тонких пленок / А. Б. Сотский [и др.] // Известия Российской академии наук. Серия физическая. – 2016. – Т. 80. – № 4. – С. 465–469. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8560 |
|
dc.description.abstract |
Предложен критерий оптимального выбора диапазонов измерений отражательной способности призмы связи, основанный на минимизации погрешностей восстановления параметров тонких пленок методом наименьших квадратов. Эффективность критерия продемонстрирована на примере решения обратной оптической задачи для пленки SiOx, нанесенной на кремниевую подложку. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
ФГБУ "Российская академия наук" |
ru_RU |
dc.subject |
отражательные способности призмы связи |
ru_RU |
dc.subject |
волноводная спектроскопия |
ru_RU |
dc.subject |
тонкие пленки |
ru_RU |
dc.subject |
тонкопленочные структуры |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.subject |
Публикации кафедры "Высшая математика" |
|
dc.title |
О выборе диапазонов измерения отражательной способности призмы связи при волноводной спектроскопии тонких пленок |
ru_RU |
dc.type |
Article |
ru_RU |
dc.identifier.udc |
621.383.4 |
|