Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния

Емельянов, В. В.; Бордусов, С. В.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2019 (25-26 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Емельянов, В. В.
dc.contributor.author	Бордусов, С. В.
dc.date.accessioned	2019-05-28T14:26:11Z
dc.date.available	2019-05-28T14:26:11Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.citation	Емельянов, В. В. Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния / В. В. Емельянов, С. В. Бордусов // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2019. - С. 126-127	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8755
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	плазмохимическое травление	ru_RU
dc.subject	нитрид кремния	ru_RU
dc.subject	диоксид кремния	ru_RU
dc.subject	перенос рисунка	ru_RU
dc.subject	селективное травление	ru_RU
dc.subject	травление	ru_RU
dc.title	Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремния	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	621.039.6