Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей

Ланин, В. Л.; Первенецкий, А. П.; Лаппо, А. И.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2019 (25-26 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Ланин, В. Л.
dc.contributor.author	Первенецкий, А. П.
dc.contributor.author	Лаппо, А. И.
dc.date.accessioned	2019-05-29T09:22:33Z
dc.date.available	2019-05-29T09:22:33Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.citation	Ланин, В. Л. Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей / В. Л. Ланин, А. П. Первенецкий, А. И. Лаппо // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2019. - С. 130-131	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8757
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	3D-модули	ru_RU
dc.subject	3D электронные модули	ru_RU
dc.subject	кремниевые подложки	ru_RU
dc.subject	лазерная обработка	ru_RU
dc.subject	лазерная обработка подложки	ru_RU
dc.subject	обработка ультракороткими импульсами	ru_RU
dc.subject	подложки	ru_RU
dc.subject	прошивка отверстий	ru_RU
dc.subject	размерная обработка	ru_RU
dc.title	Лазерная размерная обработка кремниевых подложек 3D электронных модулей	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	621.373.826