dc.contributor.author |
Шульга, А. В. |
|
dc.contributor.author |
Стаськов, Н. И. |
|
dc.contributor.author |
Крекотень, Н. А. |
|
dc.date.accessioned |
2019-06-17T15:02:17Z |
|
dc.date.available |
2019-06-17T15:02:17Z |
|
dc.date.issued |
2019 |
|
dc.identifier.citation |
Шульга, А. В. Спектроэллипсометрия кварцевых пластин / А. В. Шульга, Н. И. Стаськов, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2019. - С. 338-339 |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8999 |
|
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
Белорусско-Российский университет |
ru_RU |
dc.subject |
спектроэллипсометрия |
ru_RU |
dc.subject |
кварцевые пластины |
ru_RU |
dc.subject |
спектры показателей преломления |
ru_RU |
dc.subject |
показатели преломления |
ru_RU |
dc.subject |
подложки |
ru_RU |
dc.subject |
спектры эллипсометрических углов |
ru_RU |
dc.subject |
характеристики подложки |
ru_RU |
dc.subject |
пластины |
ru_RU |
dc.subject |
спектры |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.title |
Спектроэллипсометрия кварцевых пластин |
ru_RU |
dc.type |
Thesis |
ru_RU |
dc.identifier.udc |
535.51 |
|