Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Шульга, А. В. | |
dc.contributor.author | Стаськов, Н. И. | |
dc.contributor.author | Крекотень, Н. А. | |
dc.date.accessioned | 2019-06-17T15:02:17Z | |
dc.date.available | 2019-06-17T15:02:17Z | |
dc.date.issued | 2019 | |
dc.identifier.citation | Шульга, А. В. Спектроэллипсометрия кварцевых пластин / А. В. Шульга, Н. И. Стаськов, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2019. - С. 338-339 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8999 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | спектроэллипсометрия | ru_RU |
dc.subject | кварцевые пластины | ru_RU |
dc.subject | спектры показателей преломления | ru_RU |
dc.subject | показатели преломления | ru_RU |
dc.subject | подложки | ru_RU |
dc.subject | спектры эллипсометрических углов | ru_RU |
dc.subject | характеристики подложки | ru_RU |
dc.subject | пластины | ru_RU |
dc.subject | спектры | ru_RU |
dc.subject | Публикации кафедры "Физика" | |
dc.subject | Публикации кафедры "Физика" | |
dc.title | Спектроэллипсометрия кварцевых пластин | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |
dc.identifier.udc | 535.51 |