Спектроэллипсометрия кварцевых пластин

Шульга, А. В.; Стаськов, Н. И.; Крекотень, Н. А.

Главная
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2019 (25-26 апреля)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Шульга, А. В.
dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Крекотень, Н. А.
dc.date.accessioned	2019-06-17T15:02:17Z
dc.date.available	2019-06-17T15:02:17Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.citation	Шульга, А. В. Спектроэллипсометрия кварцевых пластин / А. В. Шульга, Н. И. Стаськов, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2019. - С. 338-339	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8999
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	спектроэллипсометрия	ru_RU
dc.subject	кварцевые пластины	ru_RU
dc.subject	спектры показателей преломления	ru_RU
dc.subject	показатели преломления	ru_RU
dc.subject	подложки	ru_RU
dc.subject	спектры эллипсометрических углов	ru_RU
dc.subject	характеристики подложки	ru_RU
dc.subject	пластины	ru_RU
dc.subject	спектры	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Спектроэллипсометрия кварцевых пластин	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.51