Некоторые особенности решения обратной задачи спектральной рефлектометрии МДП-структур

Примак, И. У.; Хомченко, А. В.

Главная
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2019 (25-26 апреля)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.date.accessioned	2019-06-28T14:04:45Z
dc.date.available	2019-06-28T14:04:45Z
dc.date.issued	2019
dc.identifier.citation	Примак, И. У. Некоторые особенности решения обратной задачи спектральной рефлектометрии МДП-структур / И. У. Примак, А. В. Хомченко // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Международной научно-технической конференции, Могилев, 25-26 апреля 2019 г. / редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2019. - С. 531-532	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/9142
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	обратные задачи	ru_RU
dc.subject	решения	ru_RU
dc.subject	МДП-структуры	ru_RU
dc.subject	спектральная рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	погрешности	ru_RU
dc.subject	слои	ru_RU
dc.subject	толщина слоя	ru_RU
dc.subject	отражение света	ru_RU
dc.subject	многослойные структуры	ru_RU
dc.subject	металл - диэлектрик - полупроводник	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Некоторые особенности решения обратной задачи спектральной рефлектометрии МДП-структур	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	534:535