Спектрофотометрический метод определения толщины слоя поликристаллического кремния в ПДП структуре

Стаськов, Н. И.; Парашков, С. О.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2014 (24-25 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Парашков, С. О.
dc.date.accessioned	2016-05-30T12:32:18Z
dc.date.accessioned	2018-06-06T10:15:38Z
dc.date.available	2016-05-30T12:32:18Z
dc.date.available	2018-06-06T10:15:38Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Стаськов, Н. И. Спектрофотометрический метод определения толщины слоя поликристаллического кремния в ПДП структуре / Н. И. Стаськов, С. О. Парашков // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 24-25 апреля 2014 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2014.- С. 330-331	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/934
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	спектрофотометрический метод	ru_RU
dc.subject	поликристаллический кремний	ru_RU
dc.subject	наноразмерные структуры	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Спектрофотометрический метод определения толщины слоя поликристаллического кремния в ПДП структуре	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU