Оценка оптического поглощения в пленке оксинитрида кремния

dc.contributor.author	Чудаковский, П. Я.
dc.contributor.author	Парашков, С. О.
dc.contributor.author	Сотский, А. Б.
dc.date.accessioned	2016-05-31T08:06:00Z
dc.date.accessioned	2018-06-06T10:13:17Z
dc.date.available	2016-05-31T08:06:00Z
dc.date.available	2018-06-06T10:13:17Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Чудаковский, П. Я. Оценка оптического поглощения в пленке оксинитрида кремния / П. Я. Чудаковский, С. О. Парашков, А. Б. Сотский // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 24-25 апреля 2014 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2014.- С. 336-337	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/955
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	оксинитрид кремния	ru_RU
dc.subject	тонкие пленки	ru_RU
dc.subject	микроэлектроника	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Оценка оптического поглощения в пленке оксинитрида кремния	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU