dc.contributor.author | Чудаковский, П. Я. | |
dc.contributor.author | Парашков, С. О. | |
dc.contributor.author | Сотский, А. Б. | |
dc.date.accessioned | 2016-05-31T08:06:00Z | |
dc.date.accessioned | 2018-06-06T10:13:17Z | |
dc.date.available | 2016-05-31T08:06:00Z | |
dc.date.available | 2018-06-06T10:13:17Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.identifier.citation | Чудаковский, П. Я. Оценка оптического поглощения в пленке оксинитрида кремния / П. Я. Чудаковский, С. О. Парашков, А. Б. Сотский // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 24-25 апреля 2014 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2014.- С. 336-337 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/955 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | оксинитрид кремния | ru_RU |
dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
dc.subject | Публикации кафедры "Физика" | |
dc.title | Оценка оптического поглощения в пленке оксинитрида кремния | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |