Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Гиль, Г. С. | |
dc.contributor.author | Филимонов, Н. С. | |
dc.contributor.author | Юшкевич, С. А. | |
dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | |
dc.date.accessioned | 2019-11-21T06:29:39Z | |
dc.date.available | 2019-11-21T06:29:39Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.identifier.citation | Характеристики пленок SiOF, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кварца / Г. С. Гиль [и др.] // Новые материалы, оборудование и технологии в промышленности: материалы международной научно-технической конференции молодых ученых, Могилев, 26-27 октября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. – С. 67 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/9681 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.title | Характеристики пленок SiOF, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из кварца | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |
dc.identifier.udc | 621.382.002 |