Стаськов, Н. И.; Ивашкевич, И. В.; Сотский, А. Б.; Сотская, Л. И.; Stas’kov, N. I.; Ivashkevich, I. V.; Sotski, A. B.; Sotskaya, L. I.
(2012)
Исследуется возможность исключения влияния естественного поверхностного слоя при определении методом спектральной эллипсометрии дисперсии показателей преломления n(λ) и поглощения k(λ) полупроводниковой подложки. Показано, ...