Контроль параметров тонкопленочных структур методом пространственной Фурье-спектроскопии волноводных мод

Хомченко, А. В.; Глазунов, Е. В.; Жолобова, Л. В.

Главная
→
Периодические издания
→
Вестник Белорусско-Российского университета
→
2008
→
№ 2
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Глазунов, Е. В.
dc.contributor.author	Жолобова, Л. В.
dc.date.accessioned	2016-06-13T08:53:33Z
dc.date.available	2016-06-13T08:53:33Z
dc.date.issued	2008
dc.identifier.citation	Хомченко, А. В. Контроль параметров тонкопленочных структур методом пространственной Фурье-спектроскопии волноводных мод / А. В. Хомченко, Е. В. Глазунов, Л. В. Жолобова // Вестник Белорусско-Российского университета.- 2008. - N 2.- С. 98-105	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/1240
dc.description.abstract	Представлены результаты измерений параметров тонкопленочных покрытий методом пространственной фурье-спектроскопии волноводных мод. Рассмотренный подход, основанный на измерении углового спектра интенсивности отраженного светового пучка при призменном возбуждении волноводной моды в тонкопленочной структуре, позволяет контролировать параметры тонкопленочных структур с малыми оптическими потерями.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	физика	ru_RU
dc.subject	тонкопленочные покрытия	ru_RU
dc.subject	оптика	ru_RU
dc.subject	методы измерений	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Контроль параметров тонкопленочных структур методом пространственной Фурье-спектроскопии волноводных мод	ru_RU
dc.title.alternative	of thin-film structure parameters by the spatial Fourier spectroscopy of guided modes	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU