Abstract:
Представлены результаты измерений параметров тонкопленочных покрытий методом пространственной фурье-спектроскопии волноводных мод. Рассмотренный подход, основанный на измерении углового спектра интенсивности отраженного светового пучка при призменном возбуждении волноводной моды в тонкопленочной структуре, позволяет контролировать параметры тонкопленочных структур с малыми оптическими потерями.
