Свойства слоев оксида алюминия, нанесенных реактивным ионно-лучевым распылением

Свойства слоев оксида алюминия, нанесенных реактивным ионно-лучевым распылением

Евстафьева, М. В.; Иващенко, А. И.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/1322
Дата: 2012

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: Док63.pdf
Размер: 231.8Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции