Анализируются особенности экспериментальных спектров DLTS в кремнии, облученном быстрыми нейтронами. Установлено, что уменьшение амплитуды пиков А-центра и дивакансии в состоянии VV(=/-) по сравнению с амплитудой пика дивакансии в состоянии VV(-/0) и зависимость их от температуры регистрации связано с влиянием кластеров дефектов.. Определен размер и концентрация дефектов в кластере.
