Оптические характеристики поверхностного слоя при термическом окислении кремниевых пластин

Сотская, Л. И.; Омельченко, А. А.; Стаськов, Н. И.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2021 (22-23 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Сотская, Л. И.
dc.contributor.author	Омельченко, А. А.
dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.date.accessioned	2021-04-29T08:25:41Z
dc.date.available	2021-04-29T08:25:41Z
dc.date.issued	2021
dc.identifier.citation	Сотская, Л. И. Оптические характеристики поверхностного слоя при термическом окислении кремниевых пластин / Сотская, Л. И., Омельченко, А. А., Стаськов, Н. И. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии:материалы Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ.Беларусь, М-во науки и высшего образования Рос. Федерации,Белорус.-Рос. ун-т ; редкол. : М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. –Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2021. – С. 298-299	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/15960
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Высшая математика"
dc.title	Оптические характеристики поверхностного слоя при термическом окислении кремниевых пластин	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.51