Оптические характеристики поверхностного слоя при термическом окислении кремниевых пластин

Оптические характеристики поверхностного слоя при термическом окислении кремниевых пластин

Сотская, Л. И.; Омельченко, А. А.; Стаськов, Н. И.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/15960
Дата: 2021

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 298.pdf
Размер: 266.6Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции