Исследование эмиссионной спектральной характеристики плазмы СВЧ-разряда технологического назначения

Исследование эмиссионной спектральной характеристики плазмы СВЧ-разряда технологического назначения

Тихон, О. И.; Мадвейко, С. И.; Бордусов, С. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/20038
Дата: 2022

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 165-166.pdf
Размер: 421.5Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции