Исследование эмиссионной спектральной характеристики плазмы СВЧ-разряда технологического назначения

dc.contributor.author	Тихон, О. И.
dc.contributor.author	Мадвейко, С. И.
dc.contributor.author	Бордусов, С. В.
dc.date.accessioned	2022-04-22T08:12:08Z
dc.date.available	2022-04-22T08:12:08Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.citation	Тихон, О. И. Исследование эмиссионной спектральной характеристики плазмы СВЧ-разряда технологического назначения / Тихон, О. И., Мадвейко, С. И., Бордусов, С. В. // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии:материалы Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ.Беларусь, М-во науки и высшего образования Рос. Федерации,Белорус.-Рос. ун-т ; редкол. : М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. –Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2022. – С. 165-166	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/20038
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.title	Исследование эмиссионной спектральной характеристики плазмы СВЧ-разряда технологического назначения	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	533.9.082.76