Разработка и исследование вторичного измерительного преобразователя для пневмодатчика размерного контроля

Третьякова, В. А.; Афанасьев, А. А.; Гоголинский, В. Ф.

dc.contributor.author	Третьякова, В. А.
dc.contributor.author	Афанасьев, А. А.
dc.contributor.author	Гоголинский, В. Ф.
dc.date.accessioned	2022-09-30T07:01:33Z
dc.date.available	2022-09-30T07:01:33Z
dc.date.issued	2022
dc.identifier.citation	Третьякова, В. А. Разработка и исследование вторичного измерительного преобразователя для пневмодатчика размерного контроля / Третьякова, В. А., Афанасьев, А. А., Гоголинский, В. Ф. // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов: сб. ст. 8-й Междунар. науч.-техн.конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Белорус. ассоц. неразрушающего контроля и техн. диагностики, Рос. общество по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2022. – С. 274-279.	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/22408
dc.description.abstract	Разработаны конструкции емкостного измерительного и емкостного эталонного преобразователей и электрическая структурная схема вторичного измерительного преобразователя (ВИП) для совместного использования с пневмодатчиком с целью бесконтактного технологического контроля толщины пленки. Математическое моделирование работы ВИП показало возможность измерения толщины пленки с дискретностью до 0,1 мкм. The designs of the capacitive measuring and capacitive reference transducers and the electrical block diagram of the secondary measuring transducer (SMT) for joint use with a pneumatic sensor for the purpose of non-contact technological control of the film thickness have been developed. Mathematical modeling of the operation of the SMT showed the possibility of measuring the film thickness with a resolution of up to 0,1 μm.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	синтетическая пленка	ru_RU
dc.subject	толщина	ru_RU
dc.subject	измерение	ru_RU
dc.subject	пневмодатчик	ru_RU
dc.subject	емкостный датчик	ru_RU
dc.subject	электронный блок	ru_RU
dc.subject	моделирование	ru_RU
dc.subject	synthetic film	ru_RU
dc.subject	thickness	ru_RU
dc.subject	measurement	ru_RU
dc.subject	pneumatic sensor	ru_RU
dc.subject	capacitive sensor	ru_RU
dc.subject	electronic unit	ru_RU
dc.subject	modeling	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физические методы контроля"
dc.title	Разработка и исследование вторичного измерительного преобразователя для пневмодатчика размерного контроля	ru_RU
dc.type	Article	ru_RU
dc.identifier.udc	681.7