Abstract:
Разработаны конструкции емкостного измерительного и емкостного
эталонного преобразователей и электрическая структурная схема вторичного измерительного преобразователя (ВИП) для совместного использования с пневмодатчиком с целью бесконтактного технологического контроля толщины пленки. Математическое моделирование работы ВИП показало возможность измерения толщины пленки с дискретностью до 0,1 мкм. The designs of the capacitive measuring and capacitive reference transducers and the electrical block diagram of the secondary measuring transducer (SMT) for joint use with a pneumatic sensor for the purpose of non-contact technological control of the film thickness have been developed. Mathematical modeling of the operation of the SMT showed the possibility of measuring the film thickness with a resolution of up to 0,1 μm.
