Многоугловая эллипсометрия поликристаллического  кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем

Стаськов, Н. И.; Крекотень, Н. А.; Шилов, А. В.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2015 (16-17 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Крекотень, Н. А.
dc.contributor.author	Шилов, А. В.
dc.date.accessioned	2016-04-19T12:14:40Z
dc.date.accessioned	2018-06-09T12:36:28Z
dc.date.available	2016-04-19T12:14:40Z
dc.date.available	2018-06-09T12:36:28Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	Стаськов Н. И. Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем / Н. И. Стаськов, Н. А. Крекотень, А. В. Шилов // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 306-307	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/315
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	многоугловая эллипсометрия	ru_RU
dc.subject	эллипсометрия	ru_RU
dc.subject	кремниевые многослойники	ru_RU
dc.subject	микроэлектроника	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Автоматизированные системы управления"
dc.title	Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU