Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем

Многоугловая эллипсометрия поликристаллического кремния на кремниевой подложке с оксидным слоем

Стаськов, Н. И.; Крекотень, Н. А.; Шилов, А. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/315
Date: 2015

Show full item record

Files in this item

Thumbnail
Name: Док83.pdf
Size: 331.1Kb
Format: PDF
Description: тезисы
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account