Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке

Хомченко, А. В.; Примак, И. У.; Корнеева, И. А.; Крекотень, Н. А.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2015 (16-17 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Корнеева, И. А.
dc.contributor.author	Крекотень, Н. А.
dc.date.accessioned	2016-04-19T12:56:09Z
dc.date.accessioned	2018-06-09T12:34:53Z
dc.date.available	2016-04-19T12:56:09Z
dc.date.available	2018-06-09T12:34:53Z
dc.date.issued	2015
dc.identifier.citation	Хомченко А. В. Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке / А. В. Хомченко, И. У. Примак, И. А. Корнеева, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 310-311	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/318
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	многослойные структуры	ru_RU
dc.subject	микросхемы	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU