Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке

Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке

Хомченко, А. В.; Примак, И. У.; Корнеева, И. А.; Крекотень, Н. А.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/318
Дата: 2015

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: Док86.pdf
Размер: 286.3Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции