Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Хомченко, А. В. | |
dc.contributor.author | Примак, И. У. | |
dc.contributor.author | Корнеева, И. А. | |
dc.contributor.author | Крекотень, Н. А. | |
dc.date.accessioned | 2016-04-19T12:56:09Z | |
dc.date.accessioned | 2018-06-09T12:34:53Z | |
dc.date.available | 2016-04-19T12:56:09Z | |
dc.date.available | 2018-06-09T12:34:53Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.citation | Хомченко А. В. Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке / А. В. Хомченко, И. У. Примак, И. А. Корнеева, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 16-17 апреля 2015 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2015.- С. 310-311 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/318 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | рефлектометрия | ru_RU |
dc.subject | многослойные структуры | ru_RU |
dc.subject | микросхемы | ru_RU |
dc.subject | Публикации кафедры "Физика" | |
dc.title | Рефлектометрия многослойных структур на кремниевой подложке | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |