Abstract:
в работе изучалась возможность образования наночастиц золота на поверхности кремне-содержащего слоя с небольшим количеством золота под действием низкознергетического ионного облучения в плазме тлеющего разряда Тонкие пленки Si02+Au на SiO2 подложке были получены с помощью осаждения ассистируемого ионным облучением (IBAD). Толщина пленок, а также процентное содержание золота измерялось с помощью спектрометрии Резерфордовского обратного рассеяния (POP). Образцы подвергались воздействию низкознергетических ионов остаточных газов воздуха в плазме тлеющего разряда. Энергия ионов зависела от напряжения в плазмогенераторе и не превышала 1,2 кэВ. Образование наночастиц золота после низкоэнергетического ионного облучения исследовалось с помощью спектрометрии оптического поглощения. Электромагнитная теория Ми, а также теория эффективной среды была использована для изучения среднего размера частиц. The effects of the low energy ions to induce the nucleation of nanoscale crystals on the surface of a silica nano-layer containing low concentrations of Au were used in this work. Si02+Au films on SiO2 substrates were produced by IBAD. The thicknesses of the films and Au concentration were measured by Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS). Samples were exposed to low-energy ion irradiation in glow-discharge plasma of residual gases. The ion energy depends on the voltage in the plasma generator and did not exceed 3 keV The temperature in the chamber was controlled during the irradiation process and did not exceed 323 K.
The formation of Au nanoclusters after low-energy ion irradiation was studied by Optical Absorption Spectrometry (OAS). Electromagnetic Mie theory and effective media theory were used to study average size of particles.
