Планарные магнетроны со сверхвысоким коэффициентом использования материала мишени

Планарные магнетроны со сверхвысоким коэффициентом использования материала мишени

Терещук, О. И.; Комаровская, В. М.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/41936
Дата: 2024

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 136-137.pdf
Размер: 211.3Kb
Формат: PDF
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции