Планарные магнетроны со сверхвысоким коэффициентом использования материала мишени

dc.contributor.author	Терещук, О. И.	ru
dc.contributor.author	Комаровская, В. М.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2024-05-07T12:54:11Z
dc.date.available	2024-05-07T12:54:11Z
dc.date.issued	2024
dc.identifier.citation	Терещук, О. И. Планарные магнетроны со сверхвысоким коэффициентом использования материала мишени / О. И. Терещук, В. М. Комаровская // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высшего образования Рос. Федерации, Белорус.-Рос. ун-т; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. –Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2024. – С. 136-137.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/41936
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.title	Планарные магнетроны со сверхвысоким коэффициентом использования материала мишени	ru
dc.type	Thesis	ru