Аннотации:
Рассмотрена возможность формирования высоковольтных частотных импульсов с возможностью регулирования тока в пределах от 50 до 150 кГц. Представлена схема формирования устройства, позволяющего получить более широкие возможности регулирования частоты. Представлены результаты, позволяющие получить представление о влиянии частоты течения тока высоковольтного тлеющего разряда на глубину модифицированного слоя при помощи имитационного моделирования. The possibility of forming high-voltage frequency pulses which makes current regulation in the range from 50 to 150 kHz possible is considered. A diagram of formation of the device to provide wider possibilities for frequency control is given. The results are presented, which allow getting an idea how the frequency of current flow of a high-voltage glow discharge effects the depth of the modified layer using simulation modeling.
