Показать сокращенную информацию
dc.contributor.author | Примак, И. У. | |
dc.contributor.author | Хомченко, А. В. | |
dc.date.accessioned | 2017-05-29T07:45:34Z | |
dc.date.accessioned | 2018-05-24T13:48:30Z | |
dc.date.available | 2017-05-29T07:45:34Z | |
dc.date.available | 2018-05-24T13:48:30Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.identifier.citation | Примак, И. У. Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке / И. У. Примак, А. В. Хомченко // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы междунар. науч.-техн. конф., Могилев, 27-28 апреля 2017 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2017. - С. 351-352 | ru_RU |
dc.identifier.uri | http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/4706 | |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
dc.subject | оптическая рефлектометрия | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.subject | диоксид кремния | ru_RU |
dc.subject | Публикации кафедры "Физика" | |
dc.title | Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке | ru_RU |
dc.type | Thesis | ru_RU |