Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке

dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.date.accessioned	2017-05-29T07:45:34Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T13:48:30Z
dc.date.available	2017-05-29T07:45:34Z
dc.date.available	2018-05-24T13:48:30Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Примак, И. У. Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке / И. У. Примак, А. В. Хомченко // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы междунар. науч.-техн. конф., Могилев, 27-28 апреля 2017 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорус.-Рос. ун-т, 2017. - С. 351-352	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/4706
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	оптическая рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	кремний	ru_RU
dc.subject	диоксид кремния	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU