Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке

Оптическая рефлектометрия неоднородного слоя SiO2 на кремниевой подложке

Примак, И. У.; Хомченко, А. В.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/4706
Date: 2017

Show full item record

Files in this item

Thumbnail
Name: 1_Часть176.pdf
Size: 228.2Kb
Format: PDF
Description: тезисы
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account