Обобщенный эффект Брюстера в спектральной эллипсометрии слоя диэлектрика на полупроводниковой подложке

Стаськов, Н. И.; Парашков, С. О.

Главная
→
Материалы конференций и семинаров
→
Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов
→
2026 (24-25 сентября)
→
Просмотр элемента

dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.	ru
dc.contributor.author	Парашков, С. О.	ru
dc.coverage.spatial	Могилев	ru
dc.date.accessioned	2026-10-07T13:27:25Z
dc.date.available	2026-10-07T13:27:25Z
dc.date.issued	2026
dc.identifier.citation	Стаськов, Н. И. Обобщенный эффект Брюстера в спектральной эллипсометрии слоя диэлектрика на полупроводниковой подложке / Н. И. Стаськов, С. О. Парашков // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сб. ст. 10-й Междунар. науч.-техн. конф. / М-во образования Респ. Беларусь, М-во науки и высш. образования Рос. Федерации, Бел.-Рос. ун-т, Ин-т прикладной физики НАН Беларуси, Научный совет Междунар. ассоц. акад. наук по неразрушающему контролю и техн. диагностике, Рос. о-во по неразрушающему контролю и техн. диагностике; редкол.: М. Е. Лустенков (гл. ред.) [и др.]. – Могилев : Белорус.-Рос. ун-т, 2026. – С. 305-309.	ru
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/48799
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru
dc.title	Обобщенный эффект Брюстера в спектральной эллипсометрии слоя диэлектрика на полупроводниковой подложке	ru
dc.type	Thesis	ru