dc.contributor.author |
Примак, И. У. |
|
dc.contributor.author |
Хомченко, А. В. |
|
dc.contributor.author |
Драница, А. Е. |
|
dc.contributor.author |
Казаченко, Н. И. |
|
dc.contributor.author |
Primak, I. U. |
|
dc.contributor.author |
Khomchenko, A. V. |
|
dc.contributor.author |
Dranica, A. E. |
|
dc.contributor.author |
Kasachenko, N. I. |
|
dc.date.accessioned |
2017-10-02T09:21:19Z |
|
dc.date.accessioned |
2018-05-24T06:58:17Z |
|
dc.date.available |
2017-10-02T09:21:19Z |
|
dc.date.available |
2018-05-24T06:58:17Z |
|
dc.date.issued |
2017 |
|
dc.identifier.citation |
Контроль параметров тонкопленочных структур методами рефлектометрии и волноводной спектроскопии / И. У. Примак [и др.] // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 172-178 |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/4994 |
|
dc.description.abstract |
Рассмотрены особенности и пределы применимости методов измерения параметров тонкопленочных структур, основанных на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных мод или его отражения от поверхности исследуемой структуры. The waveguide and reflectometry techniques for measuring of the absorption coefficient, refractive index and thickness of dielectric and metal thin-film structures are discussed. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
Белорусско-Российский университет |
ru_RU |
dc.subject |
волноводная спектроскопия |
ru_RU |
dc.subject |
рефлектометрия |
ru_RU |
dc.subject |
контроль параметров |
ru_RU |
dc.subject |
тонкопленочные структуры |
ru_RU |
dc.subject |
waveguide spectroscopy |
ru_RU |
dc.subject |
reflectometry |
ru_RU |
dc.subject |
parameter testing |
ru_RU |
dc.subject |
thin-film structures |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.title |
Контроль параметров тонкопленочных структур методами рефлектометрии и волноводной спектроскопии |
ru_RU |
dc.title.alternative |
Parameter testing of thin-film structure by reflectometry and waveguide spectroscopy techniques |
ru_RU |
dc.type |
Thesis |
ru_RU |