Abstract:
Рассмотрены особенности и пределы применимости методов измерения параметров тонкопленочных структур, основанных на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных мод или его отражения от поверхности исследуемой структуры. The waveguide and reflectometry techniques for measuring of the absorption coefficient, refractive index and thickness of dielectric and metal thin-film structures are discussed.
