Контроль параметров тонкопленочных структур методами рефлектометрии и волноводной спектроскопии

Примак, И. У.; Хомченко, А. В.; Драница, А. Е.; Казаченко, Н. И.; Primak, I. U.; Khomchenko, A. V.; Dranica, A. E.; Kasachenko, N. I.

dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Драница, А. Е.
dc.contributor.author	Казаченко, Н. И.
dc.contributor.author	Primak, I. U.
dc.contributor.author	Khomchenko, A. V.
dc.contributor.author	Dranica, A. E.
dc.contributor.author	Kasachenko, N. I.
dc.date.accessioned	2017-10-02T09:21:19Z
dc.date.accessioned	2018-05-24T06:58:17Z
dc.date.available	2017-10-02T09:21:19Z
dc.date.available	2018-05-24T06:58:17Z
dc.date.issued	2017
dc.identifier.citation	Контроль параметров тонкопленочных структур методами рефлектометрии и волноводной спектроскопии / И. У. Примак [и др.] // Современные методы и приборы контроля качества и диагностики состояния объектов : сборник статей 6-й Международной научно-технической конференции, Могилев, 19-20 сентября 2017 г. / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. - С. 172-178	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/4994
dc.description.abstract	Рассмотрены особенности и пределы применимости методов измерения параметров тонкопленочных структур, основанных на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных мод или его отражения от поверхности исследуемой структуры. The waveguide and reflectometry techniques for measuring of the absorption coefficient, refractive index and thickness of dielectric and metal thin-film structures are discussed.	ru_RU
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	волноводная спектроскопия	ru_RU
dc.subject	рефлектометрия	ru_RU
dc.subject	контроль параметров	ru_RU
dc.subject	тонкопленочные структуры	ru_RU
dc.subject	waveguide spectroscopy	ru_RU
dc.subject	reflectometry	ru_RU
dc.subject	parameter testing	ru_RU
dc.subject	thin-film structures	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Контроль параметров тонкопленочных структур методами рефлектометрии и волноводной спектроскопии	ru_RU
dc.title.alternative	Parameter testing of thin-film structure by reflectometry and waveguide spectroscopy techniques	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU