Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния

Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния

Стаськов, Н. И.; Петлицкий, А. Н.; Крекотень, Н. А.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/6507
Date: 2018

Show full item record

Files in this item

Thumbnail
Name: 374.pdf
Size: 215.2Kb
Format: PDF
Description: тезисы
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account