Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния

Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния

Стаськов, Н. И.; Петлицкий, А. Н.; Крекотень, Н. А.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/6507
Дата: 2018

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: 374.pdf
Размер: 215.2Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции