Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния

Стаськов, Н. И.; Петлицкий, А. Н.; Крекотень, Н. А.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2018 (26-27 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author	Петлицкий, А. Н.
dc.contributor.author	Крекотень, Н. А.
dc.date.accessioned	2018-07-16T13:16:50Z
dc.date.available	2018-07-16T13:16:50Z
dc.date.issued	2018
dc.identifier.citation	Стаськов, Н. И. Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния / Н. И. Стаськов, А. Н. Петлицкий, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 26-27 апреля 2018 г. [Электронный ресурс] / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2018. - С. 373-374	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/6507
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	оксид кремния	ru_RU
dc.subject	SiО2	ru_RU
dc.subject	Si3N4	ru_RU
dc.subject	нитрид кремния	ru_RU
dc.subject	спектральная эллипсометрия	ru_RU
dc.subject	состав слоев	ru_RU
dc.subject	эллипсометрический контроль	ru_RU
dc.subject	диагностика вещественного состава	ru_RU
dc.subject	вещественный состав	ru_RU
dc.title	Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU
dc.identifier.udc	535.51