Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния

Показать сокращенную информацию

dc.contributor.author Стаськов, Н. И.
dc.contributor.author Петлицкий, А. Н.
dc.contributor.author Крекотень, Н. А.
dc.date.accessioned 2018-07-16T13:16:50Z
dc.date.available 2018-07-16T13:16:50Z
dc.date.issued 2018
dc.identifier.citation Стаськов, Н. И. Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния / Н. И. Стаськов, А. Н. Петлицкий, Н. А. Крекотень // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии: материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 26-27 апреля 2018 г. [Электронный ресурс] / редкол.: И. С. Сазонов (гл. ред.) [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2018. - С. 373-374 ru_RU
dc.identifier.uri http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/6507
dc.language.iso ru ru_RU
dc.publisher Белорусско-Российский университет ru_RU
dc.subject оксид кремния ru_RU
dc.subject SiО2 ru_RU
dc.subject Si3N4 ru_RU
dc.subject нитрид кремния ru_RU
dc.subject спектральная эллипсометрия ru_RU
dc.subject состав слоев ru_RU
dc.subject эллипсометрический контроль ru_RU
dc.subject диагностика вещественного состава ru_RU
dc.subject вещественный состав ru_RU
dc.title Эллипсометрический контроль параметров слоя на основе оксидов и нитрида кремния ru_RU
dc.type Thesis ru_RU
dc.identifier.udc 535.51


Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: 374.pdf
Размер: 215.2Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию