Примак, И. У.; Хомченко, А. В.; Драница, А. Е.; Казаченко, Н. И.; Primak, I. U.; Khomchenko, A. V.; Dranica, A. E.; Kasachenko, N. I.
(Белорусско-Российский университет, 2017)
Рассмотрены особенности и пределы применимости методов измерения параметров тонкопленочных структур, основанных на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения ...