dc.contributor.author |
Хомченко, А. В. |
|
dc.contributor.author |
Сотский, А. Б. |
|
dc.contributor.author |
Романенко, А. А. |
|
dc.contributor.author |
Глазунов, Е. В. |
|
dc.contributor.author |
Костюченко, Д. Н. |
|
dc.date.accessioned |
2019-02-01T11:09:41Z |
|
dc.date.available |
2019-02-01T11:09:41Z |
|
dc.date.issued |
2002 |
|
dc.identifier.citation |
Определение оптических параметров тонких пленок в схеме призменного возбуждения мод / А. В. Хомченко [и др.] // Письма в ЖТФ. -2002.- Т.28, вып.11. - С. 51-57. |
ru_RU |
dc.identifier.uri |
http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8544 |
|
dc.description.abstract |
Предложен метод измерения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных либо вытекающих мод. Обсуждаются особенности определения параметров SiOx-пленок на кремниевой и стеклянной подложках. |
ru_RU |
dc.language.iso |
ru |
ru_RU |
dc.publisher |
ФГБ УН Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе |
ru_RU |
dc.subject |
измерение коэффициента поглощения |
ru_RU |
dc.subject |
измерение коэффициента показателя преломления |
ru_RU |
dc.subject |
тонкие пленки |
ru_RU |
dc.subject |
коэффициент показателя толщины |
ru_RU |
dc.subject |
Публикации кафедры "Физика" |
|
dc.subject |
Публикации кафедры "Высшая математика" |
|
dc.title |
Определение параметров тонких пленок в схеме призменного возбуждения мод |
ru_RU |
dc.type |
Article |
ru_RU |