Предложен метод измерения коэффициента поглощения, показателя преломления и толщины тонких пленок, основанный на регистрации угловой зависимости коэффициента отражения светового пучка в схеме призменного возбуждения волноводных либо вытекающих мод. Обсуждаются особенности определения параметров SiOx-пленок на кремниевой и стеклянной подложках.
