Измерение спектров поглощения тонких пленок волноводным методом

Показать сокращенную информацию

dc.contributor.author Хомченко, А. В.
dc.date.accessioned 2019-02-04T11:31:34Z
dc.date.available 2019-02-04T11:31:34Z
dc.date.issued 2016
dc.identifier.citation Хомченко, А. В. Измерение спектров поглощения тонких пленок волноводным методом / А. В. Хомченко // Известия Российской академии наук, Серия физическая. – 2016. – Т. 80. – № 4. – С. 471-476. ru_RU
dc.identifier.uri http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/8559
dc.description.abstract Рассмотрен волноводный метод измерения спектров поглощения тонких пленок в области их прозрачности. Погрешность измерения поглощения пленки толщиной ~0.1 мкм не превышала 5% при значениях коэффициента поглощения менее 50 см–1. Обсуждаются возможности и ограничения метода. ru_RU
dc.language.iso ru ru_RU
dc.publisher ФГБУ "Российская академия наук" ru_RU
dc.subject спектры поглощения тонких пленок ru_RU
dc.subject тонкопленочные структуры ru_RU
dc.subject тонкопленочный волновод ru_RU
dc.subject волноводная спектроскопия ru_RU
dc.subject эллипсометрия ru_RU
dc.subject Публикации кафедры "Физика"
dc.title Измерение спектров поглощения тонких пленок волноводным методом ru_RU
dc.type Article ru_RU
dc.identifier.udc 535.32:621.378


Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: 27f.pdf
Размер: 269.6Kb
Формат: PDF
Описание: Текст статьи
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию