Аннотации:
В работе обсуждается уточненная модель, описывающая динамику структурных превращений в имплантированном слое. Модель представляет собой систему нелинейных дифференциальных уравнений, полученных на основе синергетических подходов кластерной динамики. Каждый из процессов рассматривается в модели с учетом его вероятности. Эти вероятности вычисляются как динамические функции изменяющихся параметров облучения. Модельные расчеты приводят к физически обоснованным результатам.
