Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии

Хомченко, А. В.; Корнеева, И. А.; Примак, И. У.; Чудаковский, П. Я.

DSpace Home
→
Материалы конференций и семинаров
→
Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии
→
2014 (24-25 апреля)
→
View Item

dc.contributor.author	Хомченко, А. В.
dc.contributor.author	Корнеева, И. А.
dc.contributor.author	Примак, И. У.
dc.contributor.author	Чудаковский, П. Я.
dc.date.accessioned	2016-05-31T06:32:47Z
dc.date.accessioned	2018-06-06T10:15:19Z
dc.date.available	2016-05-31T06:32:47Z
dc.date.available	2018-06-06T10:15:19Z
dc.date.issued	2014
dc.identifier.citation	Хомченко, А. В. Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии / А. В. Хомченко, И. А. Корнеева, И. У. Примак, П. Я. Чудаковский // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-технической конференции, Могилев, 24-25 апреля 2014 г. / ред.: И. С. Сазонов [и др.]. - Могилев: Белорусско-Российский университет, 2014.- С. 333-334	ru_RU
dc.identifier.uri	http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/949
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	Белорусско-Российский университет	ru_RU
dc.subject	рефлектометрические методы	ru_RU
dc.subject	наноразмерные структуры	ru_RU
dc.subject	оптический контроль	ru_RU
dc.subject	Публикации кафедры "Физика"
dc.title	Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии	ru_RU
dc.type	Thesis	ru_RU