Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии

Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии

Хомченко, А. В.; Корнеева, И. А.; Примак, И. У.; Чудаковский, П. Я.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/949
Дата: 2014

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя: Док184.pdf
Размер: 308.3Kb
Формат: PDF
Описание: тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции