Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии

Рефлектометрические методы исследования свойств наноразмерных слоев на кремнии

Хомченко, А. В.; Корнеева, И. А.; Примак, И. У.; Чудаковский, П. Я.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/949
Date: 2014

Show full item record

Files in this item

Thumbnail
Name: Док184.pdf
Size: 308.3Kb
Format: PDF
Description: тезисы
View/Open

This item appears in the following Collection(s)

Search DSpace


Browse

My Account