Эпитаксиальное наращивание кремния с уменьшенным уровнем автолегирования бором

Эпитаксиальное наращивание кремния с уменьшенным уровнем автолегирования бором

Земляков, А. С.; Соловьев, Я. А.
URI: http://e.biblio.bru.by/handle/1212121212/9691
Дата: 2017

Показать полную информацию

Файлы в этом документе

Icon
Имя: 53.pdf
Размер: 275.7Kb
Формат: PDF
Описание: Тезисы
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции